Vakuumnaya tehnika i rezistivnoe isparenie v laboratornom praktikume

Dannoe posobie prednaznacheno dlya studentov, izuchajushhih vakuumnuju tehniku i tehnologiju poluprovodnikovyh priborov. Cel', kotoruju postavili pered soboj avtory, sostoit v tom, chtoby v dostupnoj forme obobshhit' material, kotoryj nakoplen v razlichnyh literaturnyh istochnikah za bol'shoj vremennoj period. Avtory sdelali popytku vzyat' luchshee iz uchebnikov sovetskih vremen i iz sovremennyh izdanij i, opirayas' na svoj prakticheskij opyt, izlozhit' material takim obrazom, chtoby zainteresovat' studentov dannoj tematikoj. Uchebno-metodicheskoe posobie stavit pered soboj cel' dat' otvety na mnogie voprosy, kotorye neizbezhno voznikajut u cheloveka, tol'ko nachavshego rabotat' s vakuumnoj tehnikoj. Iz mnozhestva razlichnyh sposobov vakuumnogo napyleniya bylo resheno ostanovit'sya na rezistivnom sposobe, kak samom dostupnom pri provedenii jexperimentov i laboratornyh praktikumov. Izlozhennye teoreticheskie osnovy vakuumnoj tehniki, metody kontrolya vakuuma, sposoby ochistki podlozhek i mnogoe drugoe odinakovo primenimy i k drugim sposobam napyleniya funkcional'nyh pokrytij v vakuume.